在選購晶圓清洗機(jī)的是我們需要研究與選擇,那么到底什么是晶圓清洗機(jī)參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)呢?是否有國家的統(tǒng)一規(guī)范,請(qǐng)發(fā)布共享,方便我們采購與選擇。
?晶圓清洗機(jī)的參數(shù)要求標(biāo)準(zhǔn)主要包括以下幾個(gè)方面?:
?基本參數(shù)?:晶圓清洗機(jī)的規(guī)格尺寸通常為W410 X D625 X H980 mm,支持多種晶圓尺寸,具體需根據(jù)產(chǎn)品說明確定?。
?電源和轉(zhuǎn)速?:電源電壓為230VAC 50Hz ***,轉(zhuǎn)速范圍可能達(dá)到500-3000 rpm,具體根據(jù)設(shè)備型號(hào)和配置有所不同?。
?水消耗量?:正常工作耗水量小于120升/小時(shí),去離子水供給壓力為0.2-0.3 MPa,去離子水大消耗量約為100 L/h?。
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太專業(yè)了 可以百度百科或者360AI一下
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主營業(yè)務(wù):泵吸式氣體檢測(cè)儀
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